Sie befinden sich hier: Startseite > Leistungen > Fachbereich Elektro- und Informationstechnik/Informatik > Analytikzentrum > XPS-/AES-Oberflächenanalysen

XPS-/AES-Oberflächenanalysen

• Qualitative und quantitative Elementenanalyse Z ≥ 4
• Nachweis chemischer Bindungen
• Laterale Auflösung: AES ≥ 100nm, XPS ≥ 30 µm
• Anfertigung von Tiefenprofilen durch Ionenstrahlätzen